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无尘室工艺设备配套系统安装服务(SZTUWSJJ2500177)采购公告 |
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公告名称： |
无尘室工艺设备配套系统安装服务(SZTUWSJJ2500177)采购公告 |
| 所属地区： |
广东 |
发布时间： |
2025-11-11 |
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详细内容：
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无尘室工艺设备配套系统安装服务（SZTUWSJJ2500177）采购公告
项目名称 |
无尘室工艺设备配套系统安装服务 |
项目编号 |
SZTUWSJJ2500177 |
公示开始日期 |
2025-11-10 17:24:24 |
公示截止日期 |
2025-11-17 18:00:00 |
采购单位 |
深圳技术大学 |
付款方式 |
合同签订并收到发票后10个工作日内，支付合同总价50%的款项。验收合格后，采购人支付合同总价50%的款项 |
履约保证金 |
无履约保证金
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联系人 |
中标后在我参与的项目中查看 |
联系电话 |
中标后在我参与的项目中查看 |
签约时间要求 |
成交后10工作日 |
到货时间要求 |
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预算 |
￥297,000 |
供应商资质要求 |
不同供应商的法定代表人、主要经营负责人、项目投标授权代表人、项目负责人、主要技术人员不得为同一人、属同一单位或者在同一单位缴纳社会保险；不同投标供应商的投标文件不得由同一单位或者同一人编制；单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加本项目采购活动 (必选)
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收货地址 |
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采购清单 1
采购物品 |
采购数量 |
计量单位 |
所属分类 |
无尘室工艺设备配套系统安装服务 |
1 |
批 |
其他服务 |
预算 |
￥297,000 |
技术参数 |
1. 将湿法刻蚀清洗机、金属湿法刻蚀机、显影清洗机、ICP、PECVD、LPCVD及XeF2刻蚀机等共7台工艺设备的主设备与附属设备的连接并与洁净室厂务系统的排风、电力、给排水及特气等管网进行对接与连接。为确保设备正常运行和洁净室环境要求，需提供各设备安装所需的管道、电缆、阀门、仪表等配套材料，所有材料应符合洁净室使用标准和洁净度等级要求。同时，需完成系统对接后的功能测试、气密性检测、绝缘测试、流量及压力验证等相关检测与验收服务，确保整体系统安全、稳定、可靠运行。
2. 提供文件编制和安装计划制定的服务：制定材料预制、设备安装、测试到验收的完整项目计划，确保各环节有序衔接。
3. 提供设备安装所需附材的管理服务：设备安装所涉及的管道、管件、阀门进行分区存放和清晰标识。
4. 提供管道预制的服务：在指定场地进行管道预制，包括精确切割、坡口加工、酸洗脱脂（如需要）和标识，确保预制件清洁度与精度。
5. 提供设备所需的气体管道焊接服务：特种气体管道等关键系统须采用自动焊机，由持证焊工按评定合格的焊接工艺执行，确保焊缝质量。
6. 提供设备所需的管道洁净处理服务：对特种气体、超纯水等管道进行严格的酸洗、钝化、脱脂处理，并使用高纯气体吹扫，确保内部洁净度。
7. 提供设备所需的管道安装服务：设备所需的管道安装需遵循图纸进行连接，禁止强力对口，与设备连接时需保证对中精度。
8. 提供完整的管道压力与严密性测试服务：按规范进行管道系统强度试验和严密性试验，试验压力与稳压时间需符合使用要求。
9. 提供系统的氦检漏测试服务：对特种气体系统执行氦质谱检漏，确保所有可能泄漏点的漏率低于1E-9 mbar·l/s的标准。
10. 提供颗粒物测试服务：对特气系统进行颗粒测试，确保大于0.1微米的颗粒物含量≤1颗/立方英尺。
11. 提供水分与氧分测试服务：对特气系统进行水分和氧分测试，确保指标稳定低于10ppbv。
12. 提供给排水管道的安装服务：按介质特性选用正确连接方式，并确保阀门、附件压力等级匹配。
13. 提供给排水系统功能性测试服务：根据管道强度试验、严密性试验、冲洗及排水管道灌水试验，确保无渗漏。
14. 所有管道与风管的支、吊架安装需符合使用要求，位置正确，安装牢固，不破坏保温层。
15. 提供排风风管制作与安装的服务：根据废气类型（一般、有机、酸碱、防爆等）选用指定材质（镀锌钢板、不锈钢等）并按规范制作、连接与加固。
16. 提供排风系统关键部件安装服务：防火阀、排烟口、调节阀等部件的安装位置、方向需正确，并设置必要的检修口。
17. 提供防静电与接地措施的服务：对易燃易爆环境下的排风系统及有要求的管道系统，进行可靠的防静电接地安装与测试。
18. 提供电气设备安全安装与配电：依国家安全规范对设备进行布线、接线、接地，确保绝缘良好，防护到位。
19. 提供电气系统调试与绝缘检查的服务：调试完成后对电气设备及线路进行全面的绝缘检查，确保符合标准。
20. 提供管道与风管的防腐与保温的服务：对金属管道进行防腐处理，对冷水管及易结露部位进行保温，确保保温层连续、密封。
21. 提供清晰的管道与系统标识的服务：所有管道均需按标准标明介质名称及流向，电气设备与风系统部件标识清晰。
22. 提供设备调试前的检查服务：设备启动前，对所有设备的电源、气源、管道连接、阀门状态及安全保护装置进行彻底检查。
23. 提供分阶段设备启动与测试的服务：从空载启动开始，逐步测试设备运行状态、压力、流量及报警、监控系统的功能。
24. 提供安全保护功能验证的服务：全面测试超压保护、气体泄漏报警、紧急停机等安全装置，确保其灵敏可靠。
25. 设备安装完成后，提供测试报告在内的全套文档。
26. 提供操作与维护培训的服务：提供系统性的设备操作、日常维护及应急处理培训，并移交相关技术手册。
27. 投标人应在投标时提供设备安装的平面布局图和安装示意图，图纸为DWG格式。
28. 动力电缆铺设，采用低烟无卤阻燃电力电缆 WDZ-YJY-1，规格 4×150+70mm2，用于设备主电源连接，包含电缆敷设、端接、走线固定、标识及所有安装辅材。电缆长度≥15 米，并按洁净室规范执行。
29. 动力电缆铺设（分支电源），采用低烟无卤阻燃电力电缆 WDZ-YJY-1，规格 5×6mm2，用于设备辅助电源或控制电源连接，包含人工安装、端子压接及所需辅材，电缆长度≥10 米。
30. 断路器安装，选用 MCCB-TM100/4P 空气断路器，用于设备电源回路保护，包含配电箱内安装、线缆接入、标识及必要辅材。数量不少于 1 套，安装符合安全及电气规范要求。
31. 排风管道，规格：4”，材质：SUS316 BA ，供货时提供材料质量合格证书。包含人工安装及辅材。≥39米，
32. 加热套，厚度：10mm，规格：4”，电压220V，加热温度0-150度。含加热箱1台。包含人工安装及辅材。≥39米
33. 弯头，规格：4”，材质：SUS316 BA ，供货时提供材料质量合格证书。包含人工安装及辅材。≥8个
34. 排风管道，规格：38.1mm，材质：SUS316 BA ，供货时提供材料质量合格证书。包含人工安装及辅材。≥107米
35. 弯头，规格：38.1mm，材质：SUS316 BA ，供货时提供材料质量合格证书。包含人工安装及辅材。≥16个
36. 管码管道支架，含五金辅件，管道支架。包含人工安装及辅材。≥146个
37. 检漏测试，采用气体检漏测试，所有焊接点位使用检测液体进行测试。≥5项
38. 排风管道，规格：φ101mm，材质：304不锈钢，壁厚1.0mm。包含人工安装及辅材。≥8米
39. 手动排风阀，规格：φ101mm，材质：304不锈钢，壁厚1.0mm。包含人工安装及辅材。≥2个
40. 排风弯头，规格：φ101mm，材质：304不锈钢，壁厚1.0mm。包含人工安装及辅材。≥4个
41. 排风三通，规格：φ101mmTEE，材质：304不锈钢，壁厚1.0mm。包含人工安装及辅材。≥1个
42. 排风管道，规格：φ400mm，材质：304不锈钢，壁厚1.2mm。包含人工安装及辅材。≥7米
43. 手动排风阀，规格：φ400mm，材质：304不锈钢，壁厚1.2mm。包含人工安装及辅材。≥1个
44. 排风弯头，规格：φ400mm，材质：304不锈钢，壁厚1.2mm。包含人工安装及辅材。≥6个
45. 排风三通，规格：φ400mmTEE，材质：304不锈钢，壁厚1.2mm。包含人工安装及辅材。≥1个
46. 排风管道，规格：φ150mm，材质：304不锈钢，壁厚1.0mm。包含人工安装及辅材。≥7米
47. 手动排风阀，规格：φ150mm，材质：304不锈钢，壁厚1.0mm。包含人工安装及辅材。≥1个
48. 排风弯头，规格：φ150mm，材质：304不锈钢，壁厚1.0mm。包含人工安装及辅材。≥6个
49. 排风三通，规格：φ150mmTEE，材质：304不锈钢，壁厚1.0mm。包含人工安装及辅材。≥1个
50. 管码管道支架，含五金辅件，管道支架。包含人工安装及辅材。≥30个
51. 排风管道，规格：φ200mm，材质：SUS304不锈钢，带特氟龙涂层。包含人工安装及辅材。≥27米
52. 手动排风阀，规格：φ200mm，材质：SUS304不锈钢，带特氟龙涂层。包含人工安装及辅材。≥6个
53. 排风弯头，规格：φ200mm，材质：镀锌。包含人工安装及辅材。≥12个
54. 排风三通，规格：φ200mmTEE，材质：SUS304不锈钢。包含人工安装及辅材。≥4个
55. 排风管道，规格：φ100mm，材质：SUS304不锈钢，带特氟龙涂层。包含人工安装及辅材。≥13米
56. 手动排风阀，规格：φ100mm，材质：SUS304不锈钢，带特氟龙涂层。包含人工安装及辅材。≥2个
57. 排风弯头，规格：φ100mm，材质：镀锌。包含人工安装及辅材。≥5个
58. 管码管道支架，含五金辅件，管道支架。包含人工安装及辅材。≥40个
59. DN25管，规格：DN25；材质：PPR。包含人工安装及辅材。≥41米
60. DN25弯头，规格：DN25；材质：PPR。包含人工安装及辅材。≥15个
61. DN25直通，规格：DN25；材质：PPR。包含人工安装及辅材。≥5个
62. 管码管道支架，含五金辅件，管道支架。包含人工安装及辅材。≥41个
63. DN20管，规格：DN20；304不锈钢。包含人工安装及辅材。≥77米
64. DN20弯头，规格：DN20；304不锈钢。包含人工安装及辅材。≥30个
65. DN20直通，规格：DN20直通；304不锈钢。包含人工安装及辅材。≥2个
66. 管码管道支架，含五金辅件，管道支架。包含人工安装及辅材。≥77个
67. 排水管，材质：304不锈钢，规格：50*1.2mm。包含人工安装及辅材。≥69米
68. 等径三通，材质：304不锈钢，规格：DN50mm。包含人工安装及辅材。≥4个
69. 弯头，材质：304不锈钢，规格：DN50mm。包含人工安装及辅材。≥18个
70. 管码管道支架，含五金辅件，管道支架。包含人工安装及辅材。≥69个
71. 不锈钢BA管，规格：1/4”；材质：不锈钢 SS316L，BA级；外径：6.35mm；壁厚0.89mm；管道耐压：25MPa；包含人工安装及辅材。≥50米，投标时提供第三方检测机构出具的具有CMA和CNAS标志的检测报告扫描件，原件备查。管道采用全自动氩弧轨道焊连接，焊接时管道内充氩气进行管道内保护 ，焊接接头为全焊透结构。管道做保压测试，测试不低于8kg/cm2 /8h。管道 所有焊点做氦气检漏测试，测试值不得高于1E10-9mbar.l/s。
72. 焊接变径直通，规格：1/2→1/4”TEE ；材质：不锈钢SS 316L BA级。包含人工安装及辅材。≥5套
73. 终端控制面板，材质：SS316L，BA级，内含：终端调压阀1套，压力表1套，终端隔膜阀1套。特性：配置进出口压力表，且必须配置减压阀。所有材料均采用SS 316L材质。包含人工安装及辅材。≥1套，供货时提供防爆检测认证证书。
74. 终端接头，规格：1/4" GENLOK - 1/4"OD；材质：不锈钢SS316L，BA级。包含人工安装及辅材。≥2套
75. 管码，材质：铝合金材质；管道配套，一米一个。包含人工安装及辅材。≥50套
76. 管道支架，管道支架五金等。包含人工安装及辅材。≥50个
77. 不锈钢BA管，规格：1/4”；材质：不锈钢 SS316L，BA级；外径：6.35mm；壁厚0.89mm；管道耐压：25MPa；包含人工安装及辅材。≥82米，投标时提供第三方检测机构出具的具有CMA和CNAS标志的检测报告扫描件，原件备查。管道采用全自动氩弧轨道焊连接，焊接时管道内充氩气进行管道内保护 ，焊接接头为全焊透结构。管道做保压测试，测试不低于8kg/cm2 /8h。管道 所有焊点做氦气检漏测试，测试值不得高于1E-9mbar.l/s
78. 焊接变径直通，规格：1/2→1/4”TEE ；材质：不锈钢SS 316L BA级。包含人工安装及辅材。≥5套
79. 终端控制面板，材质：SS316L，BA级，内含：终端调压阀1套，压力表1套，终端隔膜阀1套。特性：配置进出口压力表，且必须配置减压阀。所有材料均采用SS 316L材质。包含人工安装及辅材。≥6套，供货时提供防爆检测认证证书。
80. 终端接头，规格：1/4" GENLOK - 1/4"OD；材质：不锈钢SS316L，BA级。包含人工安装及辅材。≥5套
81. 管码，材质：铝合金材质；管道配套，一米一个。包含人工安装及辅材。≥82套
82. 管道支架，管道支架五金等。包含人工安装及辅材。≥82个
83. 不锈钢EP管，规格：1/4”；材质：不锈钢 SS316L，EP级；外径：6.35mm；壁厚0.89mm；管道耐压：25MPa；包含人工安装及辅材。≥8米，投标时提供第三方检测机构出具的具有CMA和CNAS标志的检测报告扫描件，原件备查。管道采用全自动氩弧轨道焊连接，焊接时管道内充氩气进行管道内保护 ，焊接接头为全焊透结构。管道做保压测试，测试不低于8kg/cm2 /8h。管道 所有焊点做氦气检漏测试，测试值不得高于1E-9mbar.l/s
84. 管码，材质：铝合金材质；管道配套，一米一个。包含人工安装及辅材。≥8套
85. 管道支架，管道支架五金等。包含人工安装及辅材。≥8个
86. 不锈钢EP管，规格：1/4”；材质：不锈钢 SS316L，EP级；外径：6.35mm；壁厚0.89mm；管道耐压：25MPa；包含人工安装及辅材。≥113米，投标时提供第三方检测机构出具的具有CMA和CNAS标志的检测报告扫描件，原件备查。管道采用全自动氩弧轨道焊连接，焊接时管道内充氩气进行管道内保护 ，焊接接头为全焊透结构。管道做保压测试，测试不低于8kg/cm2 /8h。管道 所有焊点做氦气检漏测试，测试值不得高于1E-9mbar.l/s。
87. 管码，材质：铝合金材质；管道配套，一米一个。包含人工安装及辅材。≥113套
88. 管道支架，管道支架五金等。包含人工安装及辅材。≥113个
89. 加热线，30w/M，包含人工安装及辅材。≥30米
90. 保温带，白色绕带，包含人工安装及辅材。≥30米
91. 弯头（套管）1/2”（外）-1/4”（内），规格：1/2”（外）-1/4”（内）TEE；材质：不锈钢 SS316L，EP级，耐压：25MPa。包含人工安装及辅材。≥30套
92. 滑套管，规格：5/8”；材质：不锈钢 SS316L，BA级。包含人工安装及辅材。≥30套
93. 收尾环，规格：5/8-1/2”；材质：不锈钢 SS316L，BA级。包含人工安装及辅材。≥30套
94. VCR（F）三件套（内螺纹+套杆+垫片），规格:1/4”；材质：不锈钢 SS316L，EP级。包含人工安装及辅材。≥16套
95. 加热箱，单通道，满足加热线的使用为前提，包含人工安装及辅材。≥1套
96. 投标方提供洁净室设备安装所涉及的场地恢复至原状的服务。具体包含但不限于：修复墙面穿孔、更换破损天花、修缮地面破损及其他因设备安装所造成的洁净室损坏。
97. 投标方需提供湿法刻蚀清洗机、金属湿法刻蚀机、显影清洗机、ICP、PECVD、LPCVD及XeF2刻蚀机共7台设备的调试服务，能使设备正常运行。
98. 投标方拟投入本项目的人员中，须至少配备1名持有有效电工证的人员和1名持有有效焊工证的人员，投标时提供人员持有的有效证件复印件，原件备查。 |
售后服务 |
安装服务完成后，提供10年质保期。在质保期内，如安装系统出现非人为损坏的故障，供应方应免费提供现场售后服务，包括故障排查、维修、更换损坏部件及性能恢复，确保设备持续稳定运行。 |
深圳技术大学
2025-11-10 17:24:24
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